“頂天立地”做科研——記中科院上海微系統與信息技術研究所所長王曦院士

??? 王曦院士展示他帶領團隊研發生產的光潤無瑕、晶瑩透剔的“三明治”SOI圓片。穿上凈化服、戴上口罩、經過強風的“風淋”后，記者走進了上海微系統與信息技術研究所信息功能材料國家重點實驗室。

??? 展現在眼前的是一個擺滿了高科技儀器設備的潔凈世界，許多穿著凈化服、戴著口罩的科研人員，在不同的機器之間穿梭忙碌。

??? 這里是我國最先進的高端硅基集成電路晶圓片材料SOI研發平臺，也是中科院上海微系統與信息技術研究所所長王曦院士為之奮斗十多年的地方。 新華社記者 劉穎 攝